名称:
半导体领域
简介:
昆山渡扬数控机床深耕超精密加工装备研发,针对半导体设备零部件微米级、高洁净、真空密封严苛制造标准,推出高速钻攻中心、五轴精密加工中心,全面适配刻蚀、薄膜沉积、晶圆检测、封装设备核心构件加工,助力半导体设备零部件国产化替代。
昆山渡扬数控机床深耕超精密加工装备研发,针对半导体设备零部件微米级、高洁净、真空密封严苛制造标准,推出高速钻攻中心、五轴精密加工中心,全面适配刻蚀、薄膜沉积、晶圆检测、封装设备核心构件加工,助力半导体设备零部件国产化替代。
半导体工件以高纯铝合金、316L 不锈钢、特种工程塑料为主,多为薄壁真空腔体、匀气盘、冷却流道板,存在壁厚薄、微孔密集、异形曲面复杂等特点,尺寸公差需稳定控制在 ±0.003mm 以内,密封面粗糙度达 Ra0.1,无毛刺、无加工残留,微小形变、表面颗粒都会引发真空泄漏、晶圆污染,直接影响芯片良率。渡扬机床整机采用全时效高阻尼铸件,搭配全域热变形补偿系统,长时间连续生产精度无漂移,有效抑制薄壁件切削震动变形;搭载超高转速精密主轴与闭环光栅反馈,支持微孔、微槽高光洁度一次性成型,省去二次抛光工序。
五轴机型可一次装夹完成多面、多孔、异形流道复合加工,消除多次装夹带来的定位误差;标配机内在线检测、断刀监控功能,可完整留存加工数据,满足半导体行业质量溯源规范。设备可选配洁净微量润滑系统,适配无尘车间生产,支持机械手自动化上下料,兼顾研发打样小批量与量产大批量柔性切换。
目前昆山渡扬机床广泛应用于真空腔体、晶圆载台、喷淋匀气盘、冷却水冷板、检测治具、封装定位夹具等零部件加工,兼顾超高精度、长期稳定性与洁净加工需求,为长三角半导体配套企业提供成熟可靠的超精密数控加工整体解决方案。



